Shaanxi Yunzhong Industry Development Co., Ltd
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Lista de parámetros técnicos de máquina de capa óptica multicapa

Modelo

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Capa a tamaño de la habitación

1050 * 1250304 acero inoxidable.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Tamaño de la cavidad revestida

Accesorio soporte desde el suelo 1680 m m, conveniente para la operación de ingeniería humana.

Accesorio soporte desde el suelo 1468 m m, conveniente para la operación de ingeniería humana.

Accesorio soporte desde el suelo 1510mm, apto para la operación de ingeniería humana.

1 tipo arco sola pieza de trabajo, en mayor medida a las necesidades de los clientes para uniformidad. Cambio 5-30r/min, stepless de la velocidad de rotación.

2 arco tres pieza placa, la rotación del planeta, en mayor medida a las necesidades de los clientes en la producción. Cambio 5-30r/min, stepless de la velocidad de rotación.

Accesorio herramientas

Para cuatro piezas, ángulo del soporte es ajustable en mayor medida para cumplir con la uniformidad de las necesidades del cliente. Cambio 5-30r/min, stepless de la velocidad de rotación.

Tipo arco sola pieza, en mayor medida a las necesidades de los clientes para uniformidad. Cambio 5-30r/min, stepless de la velocidad de rotación.

Tipo arco sola pieza, en mayor medida a las necesidades de los clientes para uniformidad. Cambio 5-30r/min, stepless de la velocidad de rotación.

sistema de vacío

Unidad: DIP-12000 (Lai Bao) de la bomba de difusión, X-70 ZJY-300 2 raíces, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2 X-8. Tubería de acero inoxidable 304.

Unidad: KT-400 (Zhen Hua) de la bomba de difusión, X-70 ZJY-150 2 raíces, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2 X-8.

Unidad: KT-600 (Zhen Hua) de la bomba de difusión, X-70 ZJY-600 2 raíces, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2 X-8.

Unidad: KT-800 (Zhen Hua) de la bomba de difusión, X-70 ZJY-600 2 raíces, bomba mecánica, mantenimiento de la bomba 2 X-8.

Último vacío: más de 4 x Pa 10-4.

Configuración de anti equipo de la turbulencia, seguridad bloqueo diseño, manual, automático opcional.

sistema de calefacción

Pipa de calefacción en el modo de calefacción, control PID, el más alto 350 C + 1.5.

Inflación de gas

Instrumento de control de flujo de masa de gas o ajuste fino manual, válvula de carga.

Bombardeo de ionización vacío

C.C. 3KV, 06KW cátodo de barra (para la capa antes de la limpieza del uno mismo de la pieza de trabajo).

Fuente de evaporación (opcional)

1 TELEMARK-270 arma de electrón (importación), 6KW, alta presión 4KV-10KV ajustable. Análisis, exploración, exploración circular y espiral exploración. El enfoque del punto de la viga es buena, la precisión del posicionamiento es alta y la reproducibilidad es buena.

2 arma de electrón interno (Zhen Hua): 6KW, alta presión 4 KV ~ 8 kV ajustable, puede elegir libremente onda triangular, onda sinusoidal, onda cuadrada la exploración.

3: seis agujero crisol Phi 38 * 20 o cuatro agujero crisol Phi 38 * 20 más un crisol de arco de arco de punto 87 centro (para una gran cantidad de materiales de bajo punto de fusión evaporación) o cuatro puntos con crisol de 48 x 18.

Fuente de iones (opcional)

Fuente de iones de RF (radio frecuencia) 1 (importación).

2 5KVA Holzer fuente de ion (Zhen Huachan), utilizado para electrochapado antes de limpiar o proceso de la galjanoplastia para chapado, es propicio para mejorar el índice de refracción de la película, firmeza, mejorar la densidad de la película, adherencia.

Sistema de control de espesor de película (selección)

Dispositivo de control de cristal de 1.MDC-360 (importado) puede almacenar 1 ~ 99 proceso de recubrimiento automático, 99 tipos de datos del programa, precisión 0,5% + 1 fijo error de la capa. Dispositivo de control de cristal de 2TELEMARK-880 (importado): puede almacenar de 1 a 99 capas de proceso de recubrimiento automático, 99 tipos de datos del programa. Precisión 0,5% + 1 error fijo.

3.Telemark-820 photocontroller (importación): extremo de espectro completo utilizando una tecnología de análisis de multi longitud de onda, a través de la transmisión de supervisión 370-870 m m (o reflectividad) análisis de la curva para determinar el final de la película. La precisión de control es alta, y el control de longitud de onda única, control automático y control manual pueden ser utilizados. MACILEOD membrana sistema cálculo software adicional, alto grado de integración.

Controlador con el controlador de TELEMARK-880 4.Telemark-820 puede cumplir la película de cristal con alta exactitud y alta repetibilidad requisitos. Con el host ordenador puede realizar control automático.

5 photocontroller nacionales (tales como tipo 9704 apoyando la longitud de onda de monocromador 330 ~ 870 etc.) ajustable, precisión puede alcanzar 1.5nm.

Dispositivo funcionado de la mano

Con base magnética, puede colocarse en la cámara de vacío puerta y control de gabinete posición arbitraria.


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