Shaanxi Yunzhong Industry Development Co., Ltd
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Mo de sputtering

Source: Blanco de sputtering de Mo

Farfulla objetivos para magnetrón farfulla, farfulla es un nuevo tipo de método de deposición (PVD) de vapor físico.


En el blanco de sputtering (cátodo) con un campo magnético ortogonal y campo eléctrico y el ánodo, en cámara de vacío alta llena de gases inertes es necesitados (generalmente Ar), bajo la acción del campo eléctrico, ionización de gas Ar en iones y electrones, el blanco con cierta presión negativa, por con trabajo de campo de gas de la blanco electrónico de aumenta la probabilidad de ionización, la formación de un plasma de alta densidad cerca del cátodo , el papel de los iones de Ar en la fuerza de Lorentz acelerado hacia la superficie del blanco, con superficie del blanco del bombardeo de muy de alta velocidad, el objetivo fue farfullado átomos seguidos por principio de transferencia de momento de energía cinética mayor de la superficie del blanco a película de sustrato depositado.


Farfullar revestimiento utilizada principalmente: pantalla plana, (principalmente incluyendo vidrio arquitectónico, vidrio automotriz, vidrio óptico, película, etc.) de la industria de la capa de cristal fina ingeniería superficie solar de película (decoración YAMP; Herramientas), (magnéticos y ópticos de grabación medio), micro electrónica, iluminación, revestimiento decorativo etcetera...


En el objetivo giratorio campo de 09 años, propuso por primera vez el concepto de objetivo de tubo de molibdeno integrado, ha sido reconocido por clientes nacionales y extranjeros. Blanco de molibdeno sputtering puede proporcionar las siguientes dimensiones según requerimientos del usuario:

Destino avión: único: menor o igual a 260kg, pureza: 99,97%


Objetivo giratorio - tubo objetivos: OD: 140-180mm; ID: 125-Phi Phi 135 mm. de longitud es menor o igual a 3300mm, la pureza es más del 99,97%.


composición química

钼含量其它元素含量总和每种元素含量
≥99.97%≤0.03%≤0.001%

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